真空鍍膜設(shè)備檢漏是保障真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施，簡(jiǎn)稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。

一般真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的連接位細(xì)縫中產(chǎn)生，當(dāng)抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強(qiáng)下降，外部與內(nèi)部的壓強(qiáng)差使氣體從壓強(qiáng)高的外部流向壓強(qiáng)低的真空室內(nèi)，造成真空度下降。

真空鍍膜設(shè)備在檢漏的過程中，需要注意以下問題，才能把檢漏工作做好。

一、要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏。因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體，有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這即是虛漏，要排除這種情況。

二、測(cè)試好真空室的氣體密封性能。確保氣密性能符合要求。

三、檢查漏孔的大小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實(shí)施。

四、確定檢測(cè)儀器的很小可檢漏率和檢漏靈敏性，以很大范圍的檢測(cè)出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。

五、把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間。把時(shí)間掌握好，保障檢漏儀器工作到位，時(shí)間少了，檢漏效果肯定差，時(shí)間長(zhǎng)了，浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。

六、還要避免漏孔堵塞。有時(shí)由于操作失誤，檢漏過程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。