安裝調試階段是真空設備或系統檢漏工作的主體。設備焊縫的氣密性已經通過加工階段的檢漏，那么在設備安裝、調試過程中，檢查、以保連接部位的密封性，是檢漏工作的重點。包括各個管道、部件間的法蘭連接和動密封件等重點可疑部位。若同時對焊縫和連接部位檢漏，則檢漏的工作量和難度都加大。大型、復雜真空設備盡量采用分段檢漏，每裝上一個部件，便對其連接部位和焊縫進行一次檢漏，達到要求后再裝下一個部件。因為將所有部件全裝配完后再檢漏，不僅懷疑部位太多，還可能多個漏孔同時漏氣，給總體檢漏帶來極大困難。1、了解待檢設備的結構組成和裝配過程。掌握設備的要求，查明需要進行檢漏的重點可疑部位。2、根據所規定的較大允許漏率以及是否需要找漏孔的具體位置等要求，并從經濟、快速、可靠等原則出發，正確選擇好檢漏方法或儀器，準備好檢漏時所需的輔助設備后擬定切實可行的檢漏程序。3、應對被檢件進行好清潔工作，取出焊渣、油垢后再按真空衛生條件進行清潔處理，并予以烘干。對要求高的小型器件。清潔處理后可通過真空烘干箱進行烘烤，進行清潔處理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有機溶液等堵塞，而且也保護了檢漏儀器。4、對所選用的檢漏方法和檢漏設備進行檢漏靈敏度的校準，并確定檢漏系統的檢漏時間。5、若采用真空檢漏法時，為了提高儀器的靈敏度，應盡可能將被檢件抽到較高真空。6、在允許的前提下，應盡可能優先應用較為經濟和現場具備條件的檢漏方法。7、采用氦質譜檢漏設備檢漏時，對于要求檢漏不高的或有大漏產生的被檢件時，在檢漏初期應盡量用濃度較低的氦氣進行檢漏，然后再進行小漏孔的檢漏，以節約氦氣。8、對已檢出的大漏孔及時進行修補堵塞后再進行小漏孔的檢漏。9、對檢出并修補的漏孔進行一次復查以確保檢漏結果達到要求。