對于用于檢漏的儀器來講的話，其實就是測漏設備。也就是有氦質譜檢漏儀，再者的話就是鹵素檢漏儀以及高頻火花檢漏器，還有就是氣敏半導體檢漏儀和用于質譜分析的各種質譜計等其實都是屬于測漏設備，這里的話，我們主要的就是介紹氦質譜檢漏儀和鹵素檢漏儀的這兩個測漏設備的工作原理。

對于氦質譜測漏設備來講，它其實就是用氦氣直接的就是為示漏氣體的一個專門用于檢漏的儀器，就它的優點來講的話，就它的性能來講的話也是比較的穩定的，就它的靈敏度來講其實也是比較的高的。可以說，就其這種檢測的方法的話，它的靈敏度來講也是比較的高的，但是因為氦氣成本比較高，對于一些小型的廠家來講的話也是沒有辦法進行承擔的。

對于鹵素測漏設備來講，它其實就是用含有鹵素，也就是氟、氯、溴、碘等的氣體直接的就是為我們的示漏氣體的檢漏儀器。對于此類的檢測設備來講的話，它其實是可以分為兩類的，一種的話就是傳感器，也就是探頭和其被檢件相連接的，也被成為固定式，當然也是會被叫做內探頭式。

對于第二類的鹵素測漏設備來講，其實也就是傳感器，其實也就是吸槍。它在被檢件外部來講，就它的搜索來講，其實也是可以稱為便攜式，也就是外探頭式鹵素檢漏儀。

和氦質譜測漏設備相比，我們的鹵素測漏設備也是比較的實用的，就其本身的使用成本來講也是很低廉的。但是，對于不同的測漏設備來講是沒有的好和壞的，就其的使用的話，也是會根據不同的使用的用處來進行使用的，不可以隨便的就選擇使用。